江汉风报道:近日,记者在位于荆州经开区的湖北瑞华科技有限公司(以下简称“瑞华科技”)金刚石材料项目现场看到,主体厂房建设、净化工程、特气系统已完工,一期项目的主体设备已安装调试完毕,施工人员正在进行试生产任务,为全面投产奠定坚实基础。
“这是我们的MPCVD工艺生长车间,公司通过自主创新,研制出10kW微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)装备。”车间主任甘俊伟介绍,金刚石晶种在微波等离子体的作用下逐渐生长,生长后的金刚石经过切割和打磨,可制成璀璨的钻石,也可被加工成薄片,用作高性能电子器件散热片,分离出来的晶种可以重新用于下一次生长,这不仅降低了生产成本,还减少了资源消耗和废弃物产生。
瑞华科技是一家聚焦高端功能金刚石材料生产的高科技企业。数年前,该公司率先在国内布局第四代半导体材料装备和生长工艺研发,主要开展MPCVD装备迭代更新以及金刚石晶圆片关键技术研究,助力推进我国高端金刚石的产业化应用。
“我们的产品主要面向工业领域应用,包括定制金刚石热沉片、金刚石晶圆片、金刚石光学窗口、金刚石刀具等。”办公室主任毛莉介绍,公司产品主要应用于国防雷达、电动汽车、光学窗口、大功率激光器等方面。
目前,瑞华科技正致力于加大研发力度、优化生产工艺,力求在大尺寸、高质量金刚石生长装备及生长技术上取得重大突破,破解我国在该领域的技术难题,用“荆州造”金刚石引领半导体“芯”赛道。
(记者:陈丹 见习记者:张晶晶/编辑:王向明/一审:唐杰/二审:王桃芳/三审:江敏)
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